超純水處理設備，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。

超純水處理設備又稱超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統(tǒng)，實驗室超純水器等。

隨著科學技術的不斷進步，我國藥典對醫(yī)藥用水的法定制備方法進行了重新定義。因其使用的范圍不同而分為純化水、注射用水及滅菌注射用水，首次將過去的蒸餾水改為純化水，并且對純化水具體定義為"純化水為采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其它適宜的方法制得供藥用的水"。

工藝描述：預處理系統(tǒng)通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器，必要時還可以采用軟化器，各設備能夠自動進行臭氧水反沖洗，自動排放;輔助設備有自動加藥系統(tǒng)，臭氧發(fā)生投加系統(tǒng)。其主要功能:保證在不同的進水情況，使得二級RO系統(tǒng)獲得一個穩(wěn)定、合格的的進水水質。

優(yōu)勢：超純水設備工藝技術與傳統(tǒng)的蒸餾法相比較，超純水設備用反滲透法為基礎再聯(lián)合了最新電去離子(EDI)技術的新工藝具有明顯的優(yōu)越性和先進性。

1.高效節(jié)能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°C高溫狀態(tài)下進行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當中能源的消耗相當大;同時因為溫度較高，所有設備組成部分必須耐受高溫沖擊，設備的造價及維護費用高昂。反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統(tǒng)工作于常溫、低壓狀態(tài)，設備投資省，運行維護費用低，可靠節(jié)能:膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。

2.穩(wěn)定可靠。隨著工業(yè)化進程的不斷加快，大量而成份復雜的廢物排放使世界范圍的污染變得日益嚴重，其中水資源的污染較之以往更加嚴峻。易揮發(fā)有機污染物因其沸點大都低于水的汽化溫度，如不加處理，蒸餾過程中極易進入產成水中，單純蒸餾方法無法將其有效去除，必須倚重活性碳吸附等過濾辦法，增加了系統(tǒng)和水質的不穩(wěn)定性。膜法工藝采用多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發(fā)有機污染物質，從根本上保證有機物指標達到藥典規(guī)定指標。