超純水機(jī)是采用預(yù)處理、超純水反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。 超純水機(jī)又稱做:超純水器，超純水設(shè)備，超純水儀，超純水系統(tǒng)，實(shí)驗(yàn)室超純水器等。 超純水機(jī)所生產(chǎn)的超純水電阻率一般應(yīng)大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。優(yōu)質(zhì)超純水出水能達(dá)到18.25兆歐。

純水又稱純凈水，是指以符合生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當(dāng)?shù)募庸し椒?，制得的密封于容器?nèi)，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。市場(chǎng)上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水。

超純水是在純水的基礎(chǔ)上進(jìn)一步將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度，可以將微濾技術(shù)、超濾技術(shù)、反滲透技術(shù)、EDI技術(shù)，離子交換技術(shù)中的兩種及以上的技術(shù)，通過合理的工藝設(shè)計(jì)，設(shè)備選型，方可制造出超純水，電阻率可達(dá)18.20MΩ*cm。

預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)

預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)(最新工藝)