超純水設(shè)備用于制備超純水，具體的原理和步驟大體如下：
1、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。
2、預(yù)處理系統(tǒng)：原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)。
3、雙級反滲透系統(tǒng)：保安過濾器、高壓泵RO、反滲透系統(tǒng)。反滲透膜可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長。
4、EDI系統(tǒng)：EDI的作用就是通過除去電解質(zhì)（包括弱電解質(zhì)）的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。
5、拋光混床：無化學(xué)析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)，使水質(zhì)達(dá)到18MΩ·cm以上。
6、終端超濾：能有效地去除水中的微粒、膠體、細(xì)菌、熱源和有機(jī)物力。是整套系統(tǒng)最后的防火墻，確保產(chǎn)出的高純水不受二次污染。