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光伏及半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品-反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳
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產(chǎn)地：陜西 西安市 | 歸屬行業(yè)：光伏組件

品牌：UDC

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聯(lián)系人: 張巍

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聯(lián)系地址：西安市鄠邑區(qū)西安灃京工業(yè)園灃二東路路北

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陜西固勤材料技術(shù)有限公司

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 主要特點

碳化硅懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境下不變形，晶圓裝載量大，耐急冷急熱，熱膨脹系數(shù)小，使用壽命長，極大的
延長了設(shè)備維護(hù)清洗周期，并大幅減少污染物。

懸臂槳是光伏電池片裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。
SiC懸臂槳是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。目前半導(dǎo)體用帶CVD涂層的槳完全依賴進(jìn)口。

我國到目前為止，高端半導(dǎo)體用碳化硅陶瓷依舊只能以進(jìn)口為主，主要進(jìn)口來源國為美國、日本。價格居高不下，交貨期基本在24個月之上，嚴(yán)重制約我國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。同時，由于貿(mào)易摩擦，此類產(chǎn)品已經(jīng)在國防軍工相關(guān)領(lǐng)域被禁用，國產(chǎn)替代勢在必行。固勤研制的槳、舟及爐管已初步滿足試產(chǎn)條件，正與中國電子科技集團(tuán)展開合作，積極尋求進(jìn)口替代。


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